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外型尺寸:4300*1710*2250 mm
整機重量:4500kg
適用基材尺寸:250mm*500mm
菲林尺寸:290mm*580mm
對位精度:±10 μm (真空后);±5μm (真空前)
生產效率:10-18S/片(與來料、漲縮、精度相關)
光源解析能力: 20μm/20μm(15干膜)
上下重合度: ±10μm
糾偏精度: ≤100μm
拉料精度:≤80μm
光 源:LED面陣排布
保護功能:LED異常多點報警